【摘 要】
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在多弧离子镀过程中，由于阴极斑点具有高电流密度、高温等特点，伴随着等离子体的产生也会有大颗粒的产生，大颗粒严重影响了膜层的质量.为了去除大颗粒，人们采用磁过滤方法，目前已
【机 构】
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北京航空航天大学机械学院材料加工与系，北京100191北京航空航天大学机械学院材料加工与系，北京100191香港城市大学应用物理及材料系，香港香港城市大学应用物理及材料系，香港
【出 处】
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“十二五”堆焊、热喷涂及表面工程技术发展前瞻学术会议
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在多弧离子镀过程中，由于阴极斑点具有高电流密度、高温等特点，伴随着等离子体的产生也会有大颗粒的产生，大颗粒严重影响了膜层的质量.为了去除大颗粒，人们采用磁过滤方法，目前已经在实验和工业中得到了广泛地应用，但是也存在效率低，过滤不彻底等问题。主要介绍了大颗粒的形成机理，磁过滤器的工作原理和等离子体在磁过滤器中的传输机制。
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