【摘 要】
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本文对直流电弧等离子喷射化学气相沉积法(CVD)制备的自支撑金刚石薄膜,用X射线衍射测量了薄膜宏观织构,用扫描电镜观察了薄膜显微组织.发现金刚石薄膜的宏观织构为{110}、{1
【机 构】
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北京科技大学材料学系,北京,100083
【出 处】
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第十一届中国体视学与图像分析学术会议
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本文对直流电弧等离子喷射化学气相沉积法(CVD)制备的自支撑金刚石薄膜,用X射线衍射测量了薄膜宏观织构,用扫描电镜观察了薄膜显微组织.发现金刚石薄膜的宏观织构为{110}、{111}、{112}和{221}等纤维织构;实验结果表明,金刚石薄膜比较致密并且晶形比较完整,不同生长因子对应不同立方体-八面体几何形状.分析和讨论了金刚石薄膜的制备工艺参数如衬底温度和甲烷浓度对其宏观织构和显微组织产生影响.
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