硼硅酸盐玻璃/Al2O3陶瓷LTCC材料的研制

来源 :第十六届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tuoba888
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选择邻苯二甲酸二丁酯(DOP)/聚乙二醇(PEG)作为复合增塑剂,经流延制备硼硅酸盐玻璃/Al2O3陶瓷生带,研究生带的力学性能与LTCC基板的理化性能.结果表明:复合增塑剂的增塑效果优于单组份增塑剂,当增塑剂中w(PEG)为30~70%,固含量为86.5~87.3%时,生带拉伸强度为1.94MPa,断裂伸长率为12.07%;烧成LTCC基板具有较低的介电常数(7.1~7.62),较小的介质损耗(18.4~28.8×10-4),合适的热膨胀系数(5.61~6.35×10-6/℃),较高的热导率(3.09~3.82W/m·K),较高的抗弯强度(117~226MPa).
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