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掺硼金刚石膜由于具有较高的掺杂效率，可实现较大的载流子浓度和高的电导率，在很多领域已获得应用。相对而言掺氮金刚石膜的研究结果比较少。
掺氮对热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积金刚石膜结构的影响
【摘 要】
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掺硼金刚石膜由于具有较高的掺杂效率，可实现较大的载流子浓度和高的电导率，在很多领域已获得应用。相对而言掺氮金刚石膜的研究结果比较少。
【机 构】
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海南师范大学物理与电子工程学院 激光与材料实验室
【出 处】
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第十五届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2016年5期
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