【摘 要】
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等离子体技术已在材料、医学、微电子、表面处理、化工及环保等众多学科领域中得到较为广泛地应用。本文主要简单介绍了我们实验室低温离子体的开发和诊断(包括高密度电
【机 构】
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厦门大学能源研究院太阳能研究所,厦门CSIROMaterialsScienceandEngineering,Sydney,Australia
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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等离子体技术已在材料、医学、微电子、表面处理、化工及环保等众多学科领域中得到较为广泛地应用。本文主要简单介绍了我们实验室低温离子体的开发和诊断(包括高密度电感耦合等离子体和直流辉光放电等离子体等)，研究了低温等离子体在低维的无机纳米材料(主要包括基于硅和金属氧化物的纳米材料)制备中的应用，并且探讨了在等离子体环境下低维纳米材料的成核和生长的物理机制及其在纳米器件的应用。
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