计算机辅助的瑞奇—康芒检验

来源 :中国计量测试学会光干涉测量与应用技术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jst1984
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该文介绍如何通过计算机光线追踪模拟瑞奇—康芒(Ritchey-Common)检验,找出被检平面镜的面形误差与检验系统波象差之间的相互关系,建立一组影响函数。根据分别在两个不同瑞奇角下求得的影响函数和测出的系统波象差,通过最小二乘法求解一组过定线性方程组,即可求得被检平面镜的面形误差。文中给出了一块直径一米的高精度平面镜的检测实例。(本刊录)
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