【摘 要】
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本文研究了不同工艺参数对金刚石薄膜（100）织构生长的影响。以 H2和 CH4的混合气体为气源,用微薄等离子体设备,在硅片上生长具有（100）面金刚石薄膜。分别采用了扫描电子显微镜（SEM
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本文研究了不同工艺参数对金刚石薄膜（100）织构生长的影响。以 H2和 CH4的混合气体为气源,用微薄等离子体设备,在硅片上生长具有（100）面金刚石薄膜。分别采用了扫描电子显微镜（SEM）、Raman 光谱、X 射线衍射仪等对金刚石膜的表面形貌、质量等进行具体分析。结果表明在适当的工艺参数下可以生长出具有低缺陷、表面平整致密,高质量的（100）面金刚石薄膜。
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