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磁场拉晶技术对直拉单晶来说,已显得越来越重要.本文阐述磁场拉晶技术的基本原理,对几种不同拉晶磁场类型的特点进行了分析,同时介绍了国内磁场设备的制造状况.
磁场拉晶技术综述
【摘 要】
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磁场拉晶技术对直拉单晶来说,已显得越来越重要.本文阐述磁场拉晶技术的基本原理,对几种不同拉晶磁场类型的特点进行了分析,同时介绍了国内磁场设备的制造状况.
【机 构】
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上海合晶硅材料有限公司(上海)
【出 处】
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上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会
【发表日期】
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2004年10期
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