基于n-ZnO/n-GaN同型异质结的电致发光器件研究

来源 :第十三届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ztlzp
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  利用射频磁控溅射技术制备了n-ZnO/n-GaN 同型异质结发光器件,器件的EL 谱显示其在370nm 左右有一个较强的紫外发射峰,器件的阈值电压为3.0 V.在此基础上,利用MgO 作为插入层,制备了n-ZnO/i-MgO/n-GaN 结构器件,得到了更强的紫外发射和更低的阈值电压(2.5 V).在700℃下,空气环境中对n-ZnO/n-GaN 结构器件进行1 小时的退火处理,实现了正偏压下发射紫外(367nm)光,反偏压下发射橘红(640 nm)光的双色发光器件.
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会议
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