论文部分内容阅读
具有(002)择优取向的ZnO薄膜其c轴垂直于衬底表面，过去人们主要集中在这种ZnO薄膜的性能研究，包括电学性能，光学性能和表面波性能。近年来，研究发现通过在特定的衬底上，也可以获得其它取向生长的ZnO外延膜，其中某些取向的ZnO薄膜具有c轴取向的ZnO薄膜所不具备的特性，如(110)取向生长的ZnO薄膜，其机电耦合系数高达6％，且在(110)平面上可激发出高次瑞利波，因而在研制高频、低损耗ZnO薄膜声表面波器件方面具有较大的潜力；研究还发现ZnO薄膜作为热电材料时，其电学和热传输性能强烈依赖于ZnO薄膜的取向，通过控制(100)取向生长的晶粒生长能够显著提高ZnO薄膜的热电性能。因此研究ZnO薄膜生长及择优取向的控制具有非常重要的意义。