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本文利用红外吸收谱及光电子能谱(XPS)测试了不同成膜工艺下制备的MgO薄膜的吸水性能,得出基底温度及氧分压对MgO薄膜吸水性能的影响规律,为优化彩色PDP中MgO保护膜的制备工艺提供了重要依据.
彩色PDP中MgO保护膜吸水性能研究
【摘 要】
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本文利用红外吸收谱及光电子能谱(XPS)测试了不同成膜工艺下制备的MgO薄膜的吸水性能,得出基底温度及氧分压对MgO薄膜吸水性能的影响规律,为优化彩色PDP中MgO保护膜的制备工
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件研究所
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第十四届学术年会暨军用微波管研讨会
【发表日期】
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2003年期
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