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薄膜的应力对薄膜性能有着重要的影响.考虑了各个膜层弹性模量不同的情况,建立了多层薄膜热应力的数理模型,计算了典型多层薄膜体系中应力的分布.如果使用0级近似,每层薄膜中的热应力是由基底和膜层之间的热失配决定的,而不受其它膜层的约束;而使用一级近似,每一膜层中的热应力受其它膜层的影响.这种方法为多层薄膜应力的评价提供了依据.