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本文分析了低气压射频电容耦合等离子体鞘层中由离子和中性粒子碰撞反应产生的二次离子的动力学行为,发现(1)二次离子轰击极板的能量随其产生位置和相位呈现周期性关系.
电容耦合等离子体中离子能量分布函数的测量与模型计算
【摘 要】
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本文分析了低气压射频电容耦合等离子体鞘层中由离子和中性粒子碰撞反应产生的二次离子的动力学行为,发现(1)二次离子轰击极板的能量随其产生位置和相位呈现周期性关系.
【机 构】
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北京市清华大学工程物理系,100084
【出 处】
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中国物理学会2011年秋季学术会议
【发表日期】
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2011年9期
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