【摘 要】
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TiAlCN薄膜以其优异的综合性能获得越来越多的关注.利用反应磁控溅射,通过调节TiAlC复合靶中石墨体积比例,获得不同碳含量的TiAlCN薄膜.研究表明随着复合靶中石墨增加,TiAlCN薄膜中C含量随之增加,硬度先增加后减小,当石墨体积比为50％,硬度获得最大值.组织结构由柱状晶结构依次转变为粗纤维结构、细纤维结构和玻璃态结构.组织中的晶体主要是面心结构的(Ti,Al)(C,N),并有少量六方结
【机 构】
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东南大学,江苏,南京,210096
【出 处】
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第四届中国热处理活动周暨第九届江苏省热处理年会
论文部分内容阅读
TiAlCN薄膜以其优异的综合性能获得越来越多的关注.利用反应磁控溅射,通过调节TiAlC复合靶中石墨体积比例,获得不同碳含量的TiAlCN薄膜.研究表明随着复合靶中石墨增加,TiAlCN薄膜中C含量随之增加,硬度先增加后减小,当石墨体积比为50％,硬度获得最大值.组织结构由柱状晶结构依次转变为粗纤维结构、细纤维结构和玻璃态结构.组织中的晶体主要是面心结构的(Ti,Al)(C,N),并有少量六方结构的(Al,Ti)(C,N),都存在明显的结构取向;摩擦试验表明,TiAlCN薄膜的摩擦系数随薄膜中C含量的增加而减少,摩擦副磨球的磨损量相应减少,TiAlCN薄膜摩擦表面也从严重磨损向轻微逐渐过渡.C含量的增加具有明显的减摩耐磨作用.
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