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LIGA技术是微机电系统(MEMS)的一种重要的微加工技术,介绍了LIGA、准LIGA技术的基本工艺、特点,以及在光学和光通讯、生命科学和医学、化学、微机械等领域中的应用.
LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用
【摘 要】
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LIGA技术是微机电系统(MEMS)的一种重要的微加工技术,介绍了LIGA、准LIGA技术的基本工艺、特点,以及在光学和光通讯、生命科学和医学、化学、微机械等领域中的应用.
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海)
【出 处】
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2003年中国机械工程学会年会
【发表日期】
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2003年11期
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