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<正>原子层沉积技术具有卓越的保形性、薄膜生长精确可控、沉积温度较低等特性,是材料表面改性以及制备复杂纳米结构材料的关键技术。自行开发了热型和等离子体增强型原子层沉积设备,利用原子层沉积技术生长了多种薄膜材料,包括氧化铪、氧化铝、氧化锌、氮化铝等,对材料的生长特性、成分、结构与性能进行了详细的研究,并研究了原子层沉积薄膜对应用。