【摘 要】
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由于极紫外光刻技术、大科学工程和国防航天等方面的需求，真空计量及测试是近年来真空技术发展最为活跃的领域。本文将介绍包括美国NIST、德国PTB、欧盟计量研究计划、合肥工业大学在内的国内外研究机构在真空测量新方法新原理、测试仪器、计量新技术、新型漏孔等方面的进展，对相关关键技术进行了讨论，分析了技术发展的总体趋势。
【机 构】
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合肥工业大学真空与过程装备系 230009
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会
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由于极紫外光刻技术、大科学工程和国防航天等方面的需求，真空计量及测试是近年来真空技术发展最为活跃的领域。本文将介绍包括美国NIST、德国PTB、欧盟计量研究计划、合肥工业大学在内的国内外研究机构在真空测量新方法新原理、测试仪器、计量新技术、新型漏孔等方面的进展，对相关关键技术进行了讨论，分析了技术发展的总体趋势。
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