【摘 要】
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本文提出了一种新的无Cd薄膜CuInS太阳电池的工业化生产技术,通过运用全程溅射工艺降低制作成本.为改善短波段的量子效率和增大短路电流,采用反应溅射制作了ZnS薄膜代替CdS作
【机 构】
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湛江师范学院,信息科技学院(广东湛江)
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本文提出了一种新的无Cd薄膜CuInS<,2>太阳电池的工业化生产技术,通过运用全程溅射工艺降低制作成本.为改善短波段的量子效率和增大短路电流,采用反应溅射制作了ZnS薄膜代替CdS作为缓冲层避免了对环境的污染.所制得的ZnO:Al/ZnO/ZnS/CuInS<,2>/Mo/Glass结构的薄膜太阳电池的暗I-V关系具有良好的二极管特性.
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