Numerical Simulation of a New SiC Crystal Growth System with Resistance Graphite Heaters

来源 :无机非金属材料高层论坛暨第7届无机非金属材料专题——先进电子材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tsmljgh

【作者】

：

Lu Yujun Wang Xijie Zong Yanmin Zhu Can

【机构】

：

1929 Meili Road,Huaiyin District,Jinan,Shandong,250101,P.R.China

【出处】

：

无机非金属材料高层论坛暨第7届无机非金属材料专题——先进电子材料研讨会

【发表日期】

：

2015年期

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