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薄膜体声波谐振器的制备及其谐振特性研究
薄膜体声波谐振器的制备及其谐振特性研究
来源 :中国物理学会2012年秋季学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dawulitao
【摘 要】
:
基于薄膜体声波技术的生化传感器具有速度快、易集成、灵敏度高等优点,在临床医学、环境监测、食品安全等领域具有广阔应用前景,是当前传感器领域的研究热点.以微机电加工为
【作 者】
:
熊娟
顾豪爽
【机 构】
:
湖北大学物理学与电子技术学院,铁电压电材料与器件湖北省重点实验室 武汉 430062
【出 处】
:
中国物理学会2012年秋季学术会议
【发表日期】
:
2012年期
【关键词】
:
薄膜体声波谐振器
制备
传感器
体声波技术
高通量分析
应用前景
研究热点
食品安全
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基于薄膜体声波技术的生化传感器具有速度快、易集成、灵敏度高等优点,在临床医学、环境监测、食品安全等领域具有广阔应用前景,是当前传感器领域的研究热点.以微机电加工为基础的微流控分析技术可集成多种不同的操作单元,易于实现高通量分析,样品和试剂消耗量极少,为生物、化学检测提供了新途径.
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