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利用扫描电镜的电子束定点刻蚀制作了微纳电极，研究了电子加速电压和照射时间对刻蚀效果的影响。并测量了该结构的电性能。
定点电子束刻蚀制作一维纳米材料微纳电极的方法
【摘 要】
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利用扫描电镜的电子束定点刻蚀制作了微纳电极，研究了电子加速电压和照射时间对刻蚀效果的影响。并测量了该结构的电性能。
【机 构】
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北京科技大学新金属材料国家重点实验室,材料科学与工程学院,北京100083北京科技大学新能源材料与技术重点实验室,北京100083北京科技大学新金属材料国家重点实验室,材料科学与工程学院;新能源材料与
【出 处】
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2012年全国电子显微学学术会议
【发表日期】
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2012年9期
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