【摘 要】
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采用水热腐蚀法制备的硅纳米孔柱阵列是具有多层次结构的硅微米/纳米复合结构体系，具有广谱光吸收、比表面积大、发光强度强的特点。通过改变腐蚀液中HF 和Fe(NO3)3 的浓度，可以实现对硅柱面密度及形貌的调控。为实现对硅纳米孔柱阵列表面形貌的有效调控，本文通过对原始单晶硅片进行离子注入并进行退火处理，研究了离子注入条件对水热腐蚀硅微纳米结构的影响。
【机 构】
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郑州大学物理工程学院,材料物理教育部重点实验室,郑州450052
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采用水热腐蚀法制备的硅纳米孔柱阵列是具有多层次结构的硅微米/纳米复合结构体系，具有广谱光吸收、比表面积大、发光强度强的特点。通过改变腐蚀液中HF 和Fe(NO3)3 的浓度，可以实现对硅柱面密度及形貌的调控。为实现对硅纳米孔柱阵列表面形貌的有效调控，本文通过对原始单晶硅片进行离子注入并进行退火处理，研究了离子注入条件对水热腐蚀硅微纳米结构的影响。
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