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该文讨论离子流入在介质中输运的数值模拟方法，采用扩散理论和交替方向隐式的Ｄ－Ｒ差分法，以砷离子注入在硅单晶中输运为实例，数值模拟结果与实验结果基本相符。
离子注入在介质中输运的数值模拟
【摘 要】
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该文讨论离子流入在介质中输运的数值模拟方法，采用扩散理论和交替方向隐式的Ｄ－Ｒ差分法，以砷离子注入在硅单晶中输运为实例，数值模拟结果与实验结果基本相符。
【机 构】
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大学
【出 处】
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高科技研究中的数值计算学术交流会
【发表日期】
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1995年期
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