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多晶硅锭定向凝固过程的温度场模拟
【机 构】
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华北科技学院基础部物理教研室 北京东燕郊 101601 中海油田服务股份有限公司 北京东燕郊 10
【出 处】
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2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
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2014年4期
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