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该文内容包括微细电火花加工装置的开发和加工工艺技术研究。在开发出由蠕动式微进给机构,微小能量放电电源、微小电极线放电磨削制作机构、精密旋转主轴头、加工状态检测与控制系统等构成的微细电火花加工装置的基础上,探讨了微细电火花加工微小轴(工具电极)、高深宽比微小孔以及三维结构成型等的工艺方法。