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利用化学气相沉积技术在聚碳酸酯薄膜上获得了大面积自支撑的CsI光阴极薄膜。聚碳酸酯厚度为300 nm,CsI薄膜厚度在100～ 1000 nm可控。表征和分析了沉积速率和潮湿度对CsI薄膜表面形貌的影响,并利用MANSON光源进一步研究了表面形貌对CsI光电性能的影响。在北京同步辐射装置上对样品光电性能进行了标定,CsI薄膜光阴极的谱响应灵敏度峰值高于3000μA/W,具有良好的X射线光电转换性能。