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α测厚仪根据α检子穿透薄膜的能量损失的原理来计算薄膜的厚度。该文介绍的α测厚仪采用空气等效法测量，用微机进行数据获取和处理。它由靶室和电子仪器两部分组成。微机采用TP—801单板机，为该α测厚仪编制的程序有四种功能，键盘管理、数据获取和显示、数据处理、结果显示和打印输出。整个应用程序用机器语言写成，共4K字节，固化在2片2716EPROM中，开机后自动转入应用程序。用空气等效法α测厚仪测量超薄膜的质量厚度与用称重法测得的结果相比，误差不大于6℅。（李大光摘）