RC+RTO技术在半导体行业VOCs的治理与应用

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【摘要】

：

简要介绍了高效过滤&沸石浓缩转轮(RC)&蓄热式焚烧技术(RTO)的工艺流程及其原理,并且通过运用该主流技术的废气治理设施对半导体微电子行业的VOCs排气进行综合整治。结合实际

【作者】

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娄彦龙

【机构】

：

上海碳索能源服务股份有限公司;

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

RC RTO 半导体微电子 VOC 节能减排

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简要介绍了高效过滤&沸石浓缩转轮(RC)&蓄热式焚烧技术(RTO)的工艺流程及其原理,并且通过运用该主流技术的废气治理设施对半导体微电子行业的VOCs排气进行综合整治。结合实际的运行结果,表明该系统不仅可以高效解决企业有组织VOCs的超标排放问题,而且还可以进行热量的回收利用,达到节能减排的双重目的。

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