脉冲电场的窗口效应引起了研究者们对高压脉冲产生了极大的兴趣，其中亚纳秒（Subnanosecond）级的高压脉冲具有丰富的超宽带（UWB）频谱（几乎从直流到高达GHz），具有很高的时间分辨率和空间分辨率，信号失真小，在生物医学无创诊断和治疗领域可以匹配超宽带时域天线用于成像与聚焦等方面，因而人们一直比较关注高强度亚纳秒脉冲的产生方式。现有的亚纳秒脉冲源由于受到开关等元器件的限制输出脉冲幅值有限，难以产生高强度的亚纳秒脉冲信号，限制了其应用范围。本文结合脉冲功率技术领域亚纳秒及皮秒脉冲产生的相关原理，基于对Marx发生器输出的纳秒脉冲进行前沿陡化（Peaking）和尾部削切（Chopping）的方式，得到了高压亚纳秒脉冲。Pspice模拟及初步的实验表明设计的亚纳秒脉冲源常压下能产生幅值32.8kV、前沿600ps、脉宽800ps（FWHM）的高压亚纳秒脉冲，且放电稳定，结构可靠，为后续脉冲源的优化及应用奠定了基础。