【摘 要】
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物理气相沉积(PVD)技术制备的CrN涂层能够很好地提高各种工、模具和机械部件的抗氧化、耐腐蚀和摩擦学性能。溅射和阴极弧源方法的PVD技术在金属离化率的提高及大颗粒的排除
【机 构】
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西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室; 西南交通大学 材料先进技术教育部重点实验室;
【基金项目】
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教育部新世纪创新人才支持计划(NCET-04-0885);四川省重点攻关项目(04CN032-009)资助。
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物理气相沉积(PVD)技术制备的CrN涂层能够很好地提高各种工、模具和机械部件的抗氧化、耐腐蚀和摩擦学性能。溅射和阴极弧源方法的PVD技术在金属离化率的提高及大颗粒的排除等方面有了很大的改进,被广泛用于制备CrN涂层。本文概括了CrN涂层的不同PVD制备技术, 讨论了氮气分压、基体偏压及过渡层等沉积参数对CrN涂层制备的影响,综述了CrN涂层的抗氧化、腐蚀性能和摩擦磨损特性。
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