硼薄膜样品的NDP测量分析研究

来源 :第十三届全国核靶技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:maoht1980
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  中子深度分析(Neutron depth profiling,NDP)技术能够用来测量距样品表面几微米范围内目标核素沿深度方向的分布,其深度分辨率可以达到微米甚至几十纳米,在半导体材料、能源材料等领域的应用广泛。在中国工程物理研究院运行的国内首个冷中子源上建成了一套NDP装置,利用其对几类硼薄膜样品进行了分析,观测到薄膜样品的不均匀性及硼在样品内的深度分布情况,显示了分析结果的可靠的,形成了对硼薄膜样品的分析能力。
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