【摘 要】
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提出了一种测试铁磁薄膜电导率的新方法.测试夹具由终端短路空气微带线构成，当被测薄膜置入测试夹具时，在薄膜与接地板间形成电磁谐振，反射系数可由矢量网络分析仪测得.利用支持向量机建立薄膜电导率与反射系数间的关系模型，并由实际测试得到的反射系数确定被测薄膜的电导率.测试结果表明，采用本文提出的方法，在0.1GHz～18GHz频率范围内铁磁薄膜的电导率可以较准确地确定.
【机 构】
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电子科技大学电子工程学院,四川成都611731
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提出了一种测试铁磁薄膜电导率的新方法.测试夹具由终端短路空气微带线构成，当被测薄膜置入测试夹具时，在薄膜与接地板间形成电磁谐振，反射系数可由矢量网络分析仪测得.利用支持向量机建立薄膜电导率与反射系数间的关系模型，并由实际测试得到的反射系数确定被测薄膜的电导率.测试结果表明，采用本文提出的方法，在0.1GHz～18GHz频率范围内铁磁薄膜的电导率可以较准确地确定.
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