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当静电驱动的微机械谐振器在液体环境中工作时，由于液体附加质量和粘性阻力的作用，谐振器的谐振频率和品质因子都显著下降，因此在实际应用中，常在谐振器上开孔以降低液体的影响。
孔板结构微机械谐振器流固耦合动力学特性研究
【摘 要】
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当静电驱动的微机械谐振器在液体环境中工作时，由于液体附加质量和粘性阻力的作用，谐振器的谐振频率和品质因子都显著下降，因此在实际应用中，常在谐振器上开孔以降低液体的影响。
【机 构】
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上海交通大学,上海 200240
【出 处】
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第十五届全国非线性振动暨第十二届全国非线性动力学与运动稳定性学术会议
【发表日期】
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2015年10期
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