利用透射光谱研究热处理溶胶-凝胶TiO2薄膜的厚度和光学常数

来源 :中国物理学会2013年秋季学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhqimin

【摘要】

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以无水乙醇为溶剂,以钛酸丁酯 (Ti(OBu)4)为前驱体,与无水甲酸 (Formic Acid)反应,经溶剂热处理获得淡蓝色TiO2溶胶。采用旋涂法在洁净石英基底上镀制单层TiO2薄膜,为了研究热处理温度对薄膜的影响,以此相同方式镀制若干个相同的样品,然后对薄膜样品在不同温度下分别进行热处理,热处理时间为1 h,在150℃-750℃之间,每隔100℃选定一个热处理温度。

【作者】

：

贾红宝叶震寰高首山

【机构】

：

辽宁省鞍山市高新区千山中路185号辽宁科技大学理学院,114051

【出处】

：

中国物理学会2013年秋季学术会议

【发表日期】

：

2013年11期

【关键词】

：

溶胶-凝胶 TiO2薄膜折射率

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