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NANO-LAYER STRUCTURE OF SILICON ON INSULATOR MATERIALS
【机 构】
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ShanghaiInstituteofMicrosystemandInformationTechnologyChineseAcademyofSciences&ShanghaiSimguiTechnol
【出 处】
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International Workshop on Interactions Between Nanostructure
【发表日期】
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2004年3期
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