【摘 要】
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Diamond-like carbon (DLC) films have proven quite advantageous in many tribological applications due to their low friction coefficient.However,the poor adhe
【机 构】
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National Key Lab of Surface Engineering,Lanzhou Institute of Physics,Lanzhou,730000,China
【出 处】
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Fifth International Conference on Surface Engineering(第五届表面工
论文部分内容阅读
Diamond-like carbon (DLC) films have proven quite advantageous in many tribological applications due to their low friction coefficient.However,the poor adhesion on substrates limits its application.In order to overcome this problem,this studying make DLC films on different substrates (W18Cr4V,Cr12,GCr15,TC4,40Cr,9Cr18,1Cr18Ni9Ti and Si(100)).Hydrogen-free DLC films were synthesized by the pulse arc deposition equipment,and the film thickness is about 1μm.The interlayer had been made by a Ti target or a hybrid process of Ti arc source and deposition using nitrogen gas,and 3 types of interlayer have been made.Two types of the interlayer are made of Ti/TCx/DLC with different thickness,the third interlayer is made of Ti/TiNx/TiCxNy/DLC.The internal stress of the film have been calculated by the bending of substrate (Si(100)).
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