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本文主要介绍了具有固定氦室的渗氦型微漏率真空标准漏孔。并对其工作原理、核心参数、漏率值及测量不确定度进行了阐述。
微漏率真空标准漏孔
【摘 要】
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本文主要介绍了具有固定氦室的渗氦型微漏率真空标准漏孔。并对其工作原理、核心参数、漏率值及测量不确定度进行了阐述。
【机 构】
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原中国计量科学研究院
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会
【发表日期】
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2011年期
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