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论述了改进Smart-Cut工艺的氢—氧复合注入,分析了氢—氧复合注入的特点与效率,论证了其用于改进工艺的可行性.
用于改进Smart-Cut工艺的氢—氧复合注入探讨
【摘 要】
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论述了改进Smart-Cut工艺的氢—氧复合注入,分析了氢—氧复合注入的特点与效率,论证了其用于改进工艺的可行性.
【机 构】
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核工业西南物理研究院(成都)
【出 处】
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'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议
【发表日期】
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2001年期
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