【摘 要】
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随着电子信息技术的快速发展,声表面波器件在智能感知、无线通信等领域得到广泛应用。本文设计了一种石英基底的单端谐振型SAW器件,运用COM模型对其仿真模拟,并利用光刻加工
【机 构】
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西安科技大学; 无锡市好达电子有限公司;
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(11974275,61834005);陕西省重点科技创新团队项目(2019TD-026);江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室开放研究基金(KF201801);陕西省科技统筹计划项目(2012KTCL 01-02)
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随着电子信息技术的快速发展,声表面波器件在智能感知、无线通信等领域得到广泛应用。本文设计了一种石英基底的单端谐振型SAW器件,运用COM模型对其仿真模拟,并利用光刻加工技术制备与测试相应SAW器件。器件仿真结果表明,器件在中心频率312.26MHz处插入损耗为3.07dB。器件测试结果表明,器件在中心频率313.15MHz处插入损耗为4.38dB。通过仿真结果与测试结果对比,器件中心频率精度可达99.72%,中心频率处插入损耗偏差仅为1.31dB。该设计方法能有效对单端谐振型SAW器件制备提供理论指导,可广泛应用于声表面波传感器、谐振器等微纳声学器件。
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