【摘 要】
：
离子束溅射沉积薄膜技术广泛用于高质量半导体薄膜和光学薄膜的制备工艺,在制备过程中生长条件的选取决定了薄膜的质量和性能。本文采用LDJ-2A-F150双离子束溅射系统在宝石衬
【机 构】
：
中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室; 中国科学院上海技术物理研究所中科院红外成像材料与器件重点实验室; 中国科学院研究生院;
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(60907048)
论文部分内容阅读
离子束溅射沉积薄膜技术广泛用于高质量半导体薄膜和光学薄膜的制备工艺,在制备过程中生长条件的选取决定了薄膜的质量和性能。本文采用LDJ-2A-F150双离子束溅射系统在宝石衬底上沉积Au膜,通过正交试验设计优化Au膜沉积参数,重点研究了离子束能量,束流和加速电压三个因素。通过对Au膜归一化电阻和室温、低温电阻变化率的正交分析得到:离子束流对归一化电阻和电阻变化率影响最大,并获得了最佳的生长条件。这表明:正交试验设计可以作为双离子束溅射系统参数的有效优化方法,该方法也可用于对光学薄膜制备的参数进行优化。
其他文献
西门子在IFA 2013上展示的家电产品丰富多样，其中备受瞩目的是“Cooktop”系列电磁炉。
毛姆的长篇小说《刀锋》讲的是女主人公伊莎贝尔人格结构中"本我"、"自我"和"超我"三个层次之间相互较量与冲突、调整与妥协的过程。本文运用弗洛伊德的人格理论分析伊莎贝尔
实时是构建复杂、安全、可靠的机器人系统的基础,传统的机器人软件系统已经无法同时满足仿人机器人的复杂性和实时性要求,实时控制问题在制约仿人机器人的发展。因此,需要对
研究粉煤灰和稻草两种废弃物对砂浆性能的影响,分析了两者之间的相互作用.结果表明,这两种废弃物对砂浆的强度和容重都有显著的影响,但两者之间没有明显的交互作用.以强度为
【正】(2008年5月28日)我省是一个自然灾害频发的省份。今年1月中旬至2月中旬。全省遭受了历史罕见的严重雪凝灾害;入春以后,多次发生森林火灾;进入汛期以来,部分地区又先后
目的受文化产业的启发，研究如何从跨学科的创意角度去审视李白酒诗文化，并将其运用于文化创意设计。方法借助文化创意设计的交叉研究方法，提炼出李白酒诗文化的文化创意设计点。
以Ni-44Ti-16Si(wt．％)合金粉末为原料,利用激光熔敷技术在BT9钛合金表面制备了以金属间化合物Ti5Si3 为增强相、以NiTi2与少量β钛基固溶体的共晶为基体的金属间化合物复合材料
本文论述了箱座类零件ＮＣ自动编程系统－ＴＨＦＣＡＭ的工作原理和编程方法。该系统与ＣＡＰＰ系统相结合，自动编制ＮＣ加工程序并输出穿孔纸带。实现了设计信息－工艺信息－制造的自动转换，为实现ＣＡＤ－ＣＡＰＰ－ＣＡＭ集成设计奠定了
文章通过研究我国电网建设管理体制现状，以工程建设为目标标准，提出电网建设管理，明确政府对电网建设管理的重要性，同时分析我国管理中存在的问题，提出新的管理思路，通过建设相关先
介绍了中国石油滩浅海油田的地理和自然条件,对滩浅海油气田的常用开发模式进行了分析,讨论了适用于该区域的各种结构物的型式和特点,并对修筑人工岛的经济性作了简要分析.