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阴极脉冲弧源可以显著降低大颗粒数量并提高离化程度，直流组合脉冲弧可保持电弧稳定。本文通过小脉冲组合直流阴极弧离子镀技术增强真空室内气体离化，增大基体电流，以获得高性能 AlCrN 薄膜。
小脉冲组合直流阴极弧制备AlCrN薄膜
【摘 要】
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阴极脉冲弧源可以显著降低大颗粒数量并提高离化程度，直流组合脉冲弧可保持电弧稳定。本文通过小脉冲组合直流阴极弧离子镀技术增强真空室内气体离化，增大基体电流，以获得高
【机 构】
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哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室
【出 处】
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第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛
【发表日期】
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2017年12期
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本文提出在铝合金微弧氧化涂层表面中频磁控放电沉积Cr-DLC,以期获得高耐磨、低摩擦系数的高利用率的硬质薄膜。由于金属氧化物同金属化合物的原子构型有较大不同,造成在