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纳米技术在硬质涂层中的应用

来源 :中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集 | 被引量 : 0次 | 上传用户：deiaw

【作 者】

：

吴大维 

【出 处】

：

中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集

【发表日期】

：

2004年11期

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