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本文以轻质柔性不锈钢材料为衬底,利用共蒸发的三步法制备较高质量的四元化合物Cu(In,Ga)Se2薄膜,CIGS层在Mo导电层上具有很强的附着力.利用XRD和XRF分别分析了所制备薄膜的晶相和组分,利用扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的断面形貌.以ZnO:Al/i-ZnO/CdS/CIGS/Mo/Stainlesssteel结构为基础得到最高转换效率为9.39﹪的柔性太阳电池.最后讨论了衬底粗糙度、有害杂质的扩散和不合有Na元素等不利因素对于电池性能的影响.