论文部分内容阅读
低温泵因为具有抽速大,清洁干净,极高真空度高的特点,已经被越来越多的应用在真空获得上,尤其是超高真空获得。为了获得低温泵的性能的更加准确的数据,因此我们设计了一个低温泵测试平台。本测试平台可开展以下方面的研究:氢吸附层与低温冷凝面温度的关系;分子迁移对低温冷凝泵性能的影响;残余气体的分析;低温冷凝泵的负荷适应性研究;低温冷凝泵抽速的分析与改进等。本文主要介绍液氦低温冷凝泵的性能的测试实验装置设计。有如下几个方面:低温冷凝泵的结构设计与计算;低温冷凝泵的热力计算;低温介质压力控制系统的设计与选配;抽速测试装置的设计与选配;真空度测量系统的设计;温度测量系统的设计;残气分析系统的设计;真空预抽系统的设计与计算等。