【摘 要】
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MS-T3000摩擦磨损试验仪运用球-盘摩擦原理,得到材料或薄膜的摩擦性能和耐磨强度.尤其在硬质涂层领域中应用MS-T3000可以精确的测试出的摩擦系数和磨损量.本文利用改进的闭合场孪生非平衡中频磁控系统在基体温度低于100℃的条件下沉积了Ti-DLC纳米复合膜.采用研究MS-T3000摩擦磨损试验仪对类金刚石纳米复合涂层的摩擦磨损性能进行了系统的研究.
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所,兰州,730000 武汉大学动力与机械学院材料工程系,武汉,4300
【出 处】
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第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
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MS-T3000摩擦磨损试验仪运用球-盘摩擦原理,得到材料或薄膜的摩擦性能和耐磨强度.尤其在硬质涂层领域中应用MS-T3000可以精确的测试出的摩擦系数和磨损量.本文利用改进的闭合场孪生非平衡中频磁控系统在基体温度低于100℃的条件下沉积了Ti-DLC纳米复合膜.采用研究MS-T3000摩擦磨损试验仪对类金刚石纳米复合涂层的摩擦磨损性能进行了系统的研究.
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