超精机床控制技术的发展

来源 :中国机械工程学会生产工程分会面向21世纪学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：evanchou8

【摘要】

：

从1983年,美国劳伦斯里弗莫尔国立研究所(Lawrence Livermore National Laboratory 以下简称LLNL).建成大型光学零件钻石刀车床LODTM到1996年,日本FANUC公司研制出超精纳米机

【作者】

：

李佳特

【机构】

：

北京机床研究所

【出处】

：

中国机械工程学会生产工程分会面向21世纪学术会议

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

：

超精机床伺服技术数控技术控制系统加工精度加工技术光学零件钻石刀微米级劳伦斯分辨率日本纳米美国车床

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从1983年,美国劳伦斯里弗莫尔国立研究所(Lawrence Livermore National Laboratory 以下简称LLNL).建成大型光学零件钻石刀车床LODTM到1996年,日本FANUC公司研制出超精纳米机床ROBO nano Ui,超精机床加工技术已向毫微米级的精度发展.由于很高的分辨率和很高的加工精度,对于控制系统的要求也越来越高.本文主要介绍(1)超精数控技术的发展;(2)超精伺服技术的发展.

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