【摘 要】
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负温度系数(Negative Tempe ratture CoeffiCient,NTC)热敏电阻引起了人们的极大关注,因具有对温度敏感、体积小、响应快、价格低和互换性好等优点,被广泛用于温度测量、温度
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负温度系数(Negative Tempe ratture CoeffiCient,NTC)热敏电阻引起了人们的极大关注,因具有对温度敏感、体积小、响应快、价格低和互换性好等优点,被广泛用于温度测量、温度控制和温度补偿等方面。本文对于常见的NTC材料Mn-Co—Ni—0,采用磁控溅射的方法,制备了Mn-co-Ni-0薄膜,并对其表面形貌、电性能进行了研究。
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