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为提高TiO2薄膜的光催化效率,并将TiO2薄膜的响应波段拓展到可见光区域,分别用电子束辐照技术在TiO2薄膜表面沉积了贵重金属纳米颗粒(Ag、Pt)和离子注入技术对TiO2薄膜注入了过渡金属离子(V+,Cr+).通过XRD、SEM、EDS技术来研究粒子束改性对TiO2薄膜的影响.结果表明,电子束辐照可在TiO2薄膜表面形成纳米颗粒,注入离子分布于整个TiO2薄膜.通过光催化实验发现,这两种粒子束技术够有效的提高TiO2薄膜在可见光下的光催化能力.