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文中介绍了高长径比微孔列阵的形成工艺,给出了实验结果,指出了通道内壁存在纵向条带式不均匀分布问题,最后介绍了微孔列阵在MCP中的重要应用.
高长径比微孔列阵及其应用
【摘 要】
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文中介绍了高长径比微孔列阵的形成工艺,给出了实验结果,指出了通道内壁存在纵向条带式不均匀分布问题,最后介绍了微孔列阵在MCP中的重要应用.
【机 构】
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长春光学精密机械学院
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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