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通过直流磁控溅射技术在TA15钛合金表面沉积厚约1μm的Ti薄膜，Ti薄膜以晶化α-Ti相为主，Ti原子团簇沿磨制方向排列生长，表面粗糙度在120nm左右.采用此Ti薄膜作为中间层在700℃/10MPa下保温1h实现了TA15钛合金的低温扩散连接，获得了完整致密的焊接接头.通过线切割和砂轮切割制取的试样呈现不同的接头组织形貌，显示出以Ti薄膜作为中间层的TA15钛合金扩散焊接头对温度的敏感性。